首選我們先了解一下什么是高純氧?高純氧是一種無(wú)色無(wú)臭無(wú)味氣體,分子式是O2。大部分都是由空氣分離制造的,即將空氣液化后經(jīng)精餾提純。也可采用低溫全精餾法。少量氧采用電解氧為原料,經(jīng)催化脫氫可制取純度為99.99%以上的高純氧。其他純化方法有變壓吸附法和膜分離法。 高純氧可用于二氧化硅的化學(xué)氣相沉積;作為氧化源與產(chǎn)生高純水的反應(yīng)劑;干法氧化;與四氟化碳混合,用于等離子刻蝕。氧的主要用途源于它能維
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地 址:銀川市永寧縣望遠(yuǎn)鎮(zhèn)福成家園一號(hào)樓1號(hào)房