高純電子氣體

     電子氣體主要分為氫化物（超純氫、硅烷、磷烷等），氟化物（六氟化硫、三氟化氮、四氟化硅等），碳氟化合物（四氟化碳、六氟乙烷等）。目前，我國電子氣體品種基本齊全，但數(shù)量和質(zhì)量與發(fā)達(dá)國家相比，尚有較大差距。

     隨著半導(dǎo)體和微電子工業(yè)的迅猛發(fā)展，對電子氣體的品種、數(shù)量、質(zhì)量及純度提出了更高的要求。隨著近年來國防工業(yè)、科學(xué)研究、自動化技術(shù)、精密檢測，特別是微電子技術(shù)的發(fā)展，特種氣體行業(yè)新興起來。特種氣體是工業(yè)氣體中的一個新興門類，從應(yīng)用領(lǐng)域劃分，主要有電子氣體、高純氣體、標(biāo)準(zhǔn)氣體三大類。

     高純電子氣體是發(fā)展集成電路、光電子、微電子，特別是超大規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料制造過程中不可缺少的基礎(chǔ)性支撐源材料，被業(yè)內(nèi)稱為電子工業(yè)的“血液”和“糧食”。

     電子氣體多以集中式供應(yīng)為趨勢，特種氣體集中放置在氣體房。輸送系統(tǒng)的數(shù)量是根據(jù)機(jī)臺對流量的需求進(jìn)行合理配置。特氣輸送設(shè)備必須采用全自動切換供氣，而且多設(shè)計(jì)了備用設(shè)備。對于低蒸汽壓氣體（WF6，DCS，BCl3，C5F8，ClF3等），需要考慮鋼瓶加熱，氣體面板加熱，管道伴熱等。為了精確控制流量，在氣源端一般會考慮配置高精度的壓力變送器、電子秤、溫控器等。在機(jī)臺用氣點(diǎn)也都配置了質(zhì)量流量計(jì)。

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