特種氣體在德國被稱為技術(shù)氣體 ( T ce h – in c al G as es ) , 也有國家稱之為工業(yè)氣體。自 18 8 6 年英 國 Br isn 兄 弟建立英國氧氣公司(B O )C 之后,世界上就有 了一個新興的工業(yè)領(lǐng)域—氣體工業(yè)。 10多年來, 隨著工業(yè)規(guī)模和科技水平的發(fā)展 , 已經(jīng)形成一個規(guī)模宏大的氣體工業(yè)體系 。 近10 多年來 , 隨著電子工業(yè)等高新技術(shù)的發(fā)展, 出現(xiàn)了電子氣及其它特殊用途的高純氣和混合氣 , 統(tǒng)稱為特種氣體。
特種氣體的包裝及貯運包裝標(biāo)志:
有毒氣體。常溫下,干氯不腐 蝕鋼{但在水和濕氣存在時,由于生成鹽酸和 次氯酸。所以呈強腐蝕性i應(yīng)保持設(shè)備中無 水,管路、閥門和容器不用時應(yīng)密封或加帽,從而與大氣中的濕氣隔離。鋼瓶應(yīng)貯存在室外并遠(yuǎn)離可燃材料。使 用 鋼瓶應(yīng)豎放在露天或強制通風(fēng)室內(nèi)。防止鋼瓶過熱。鋼瓶溫度不能超過45℃。溫度低于121℃時,干氯氣體或液氯不腐蝕鐵、銅、 鋼、鋁、鎳、鉑、銀和鉭。
特種氣體分類:
特種氣體廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造行業(yè),是超大規(guī)模集成電路、平面顯示器件、化合物半導(dǎo)體器件、太陽能電池、光纖等電子工業(yè)生產(chǎn)不可缺少的原材料,它們主要應(yīng)用于薄膜、刻蝕、摻雜、氣相沉積、擴(kuò)散等工藝。特種氣體中包含了大量的有毒、有害的危險性大的氣體,因此,特種氣體的使用和貯存有別于普通的工業(yè)氣體。